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专利:化学气相沉积涂涂料设备

放大字体  缩小字体 http://www.xxtlw.com  发布日期:2013-04-26  浏览次数:24

新型涂料网讯:

【申请日】: 2003年05月23日
【公开日】: 2004年05月12日
【申请人/专利权人】: 肖特·格拉斯公司
【申请人地址】: 联邦德国美因茨
【发明设计人】: 格雷戈尔·阿诺尔德;斯特凡·贝勒;安德烈亚斯·吕特林豪斯-亨克尔;马蒂亚斯·比克尔
【专利代理机构】: 国际贸易促进委员会专利商标事务所
【代理人】: 郑修哲
【专利类型】: 发明专利
【分类号】: C23C16/00
【申请号/专利号】: 03140988
    为了经济有效地进行长时间的化学气相沉积涂料,本发明提供了一种化学气相沉积涂料设备,该设备包括一个传送装置;至少一个用于涂料工件的涂料站;至少一个抽空装置以及一个用来至少在涂料站的一个子区域内形成等离子体的装置;在该设备中,该至少的一个涂料站内至少能接收两个工件。

 
 
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