新型含硅高分子(3)
日期:2013-04-19 13:53
a)SiC/梯度CSiC/SiC涂层,用于温度高于1000℃以上:内层先沉积一层SiC,再通过调节H2/MTS(甲基三氯硅烷)的比率和沉积温度的方法在SiC涂层外侧一次性沉积从CC+SiC的梯度复合涂层纯SiC外层的复合涂层。
b)TiN/梯度CSiC/SiC涂层:制备方法同前,内层用TiCl4/N2/H2的混合体系沉积TiN。
2)PACVD:H.T.Tsou等[39,40]分别用PACVD和CVD法制备了PACVD SiC,PACVD SiC/CVD Si3N4/ SiC和PACVD B4C/CVD Si3N4复合涂层,并与C/C复合材料作了氧化性对比实验,结果表明单单PACVD SiC或PACVD B4C的抗氧化效果并不理想,主要是因为此类涂层的成分不纯,而PACVD SiC/CVD Si3N4/ SiC和PACVD B4C/CVD Si3N4涂层却可以提高C/C复合材料的氧化门槛温度,分别达850℃和700℃,且超过门槛温度氧化速率下降。
3)PLD:在文献[41]中应用PLD技术用液态Si浸渍一定密度的C/C复合材料而制备出了C/C-Si-SiC复合材料,也使用莫来石(3Al2O32SiO2)沉积了莫来石涂层。
4)LICD:在文献[42]中报道了采用LICD技术分别沉积SiC和Ir涂层。
CVD法涂层的制备时间长,而且制备的涂层往往由于与C/C的热膨胀系数不匹配而产生裂纹,为克服这些缺陷近年发展出各种多涂层体系和各种替代工艺。如浆料涂覆反应烧结法[4